隨著我國半導(dǎo)體、制芯業(yè)的發(fā)展,高純氣體管道的應(yīng)用也越來越廣泛,象半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都不同程度的使用了高純氣體管道,因此高純氣體超級管道的施工對于我們來說也越來越重要。
適用范圍:超級管道工藝主要適用于電子、半導(dǎo)體廠房的氣體管道安裝、測試,焊接薄壁不銹鋼氣體管道,同時(shí)也適用于醫(yī)藥、食品等廠房的潔凈管道施工。
工藝原理:根據(jù)工程特點(diǎn),工程的施工前后分為三個(gè)步驟,每一步都要經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量和潔凈度檢查,一是管道的預(yù)制,為保證潔凈要求,管道的預(yù)制一般是在1000級的預(yù)制間內(nèi)進(jìn)行;第二步是現(xiàn)場安裝;第三步是系統(tǒng)的測試,系統(tǒng)測試主要是對管道內(nèi)的塵埃粒子、露點(diǎn)、含氧量、碳?xì)浠衔锏暮窟M(jìn)行測試。
高純氣體超級管道按其流通介質(zhì)的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管,通常采用316L(00Cr17Ni14Mo2)。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素,鉻的存在提高了不銹鋼在氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性,形成一層富鉻氧化膜;而鉬的存在則提高了不銹鋼在非氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性;鎳是奧氏體的形成元素,它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性,又提高了鋼的工藝性能。
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